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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition 期刊论文 VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082 Jin, CG; Yu, T; Bo, Y; Zhao, Y; Zhang, HY; Dong, YJ; Wu, XM; Zhuge, LJ; Ge, SB 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/04/17 High-k dielectrics  HfO2  ZrO2  Structure  Optical properties   Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition 期刊论文 VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082 Jin, CG; Yu, T; Bo, Y; Zhao, Y; Zhang, HY; Dong, YJ; Wu, XM; Zhuge, LJ; Ge, SB 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2013/05/10 Materials Science  Physics  Multidisciplinary  Applied