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Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
作者:  Xue, ZY;  Chen, D;  Liu, LJ;  Jiang, HT;  Bian, JT
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