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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2011     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A high-performance micro electret power generator based on microball bearings 期刊论文 journal of micromechanics and microengineering, 2011 Yang, Zhaohui; Wang, Jing; Zhang, Jinwen 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Complementary metal-oxide semiconductor-compatible silicon carbide pressure sensors based on bulk micromachining 期刊论文 micro nano letters, 2011 Tang, Wei; Zheng, Baixiang; Liu, Lei; Chen, Zhe; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Status of silicon carbide micromachining, circuits and sensing devices 期刊论文 2011 Tang, Wei; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13