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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Post CMOS integration of high aspect ratio SOI MEMS devices 其他 2011-01-01 Sun, L.N.; Qian, L.; Hong, P.Z.; Yan, G.Z.; Yang, Z.C. 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 Si3N4/SiO2 dielectric stacks for high reliable capacitive RF MEMS switch 其他 2011-01-01 Li, Gang; Hanke, Ulrik; Cheng, Zaijun; Min, Deokki; San, Haisheng; Chen, Xuyuan; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 Electric field effects  MIS devices  Nanotechnology  Silicon  Silicon compounds