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一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101567394, 申请日期: 2009-10-28, 公开日期: 2009-10-28
杨恒; 成海涛; 戴斌; 吴燕红; 李昕欣; 王跃林
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利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
于海涛; 李昕欣; 李俊纲; 许鹏程; 杨天天
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