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上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
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发表日期:2008
专题:上海光学精密机械研究所
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脉冲激光晶化非晶硅薄膜的有限差分模拟
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 7, 页码: 1100, 1104
袁志军
;
楼祺洪
;
周军
;
董景星
;
魏运荣
;
王之江
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提交时间:2009/09/18
激光晶化
Amorphous silicon thin film
非晶硅薄膜
Crystallization speed
多晶硅
Energy densities
有限差分模拟
Finite difference
Finite difference simulation
Finite difference simulations
Grain sizes
Laser induced crystallization
Mathematic modeling
Melt depth
Phase changes
Polycrystalline silicon
Pulsed lasers
Red lasers
Substrate temperatures
Threshold energies
Varied parameters
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