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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2005 [5]
学科主题
光学薄膜 [5]
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发表日期:2005
学科主题:光学薄膜
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不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值
期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 994, 998
马平
;
陈松林
;
胡建平
;
胡江川
;
段立华
;
王震
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:522/95
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
ZrO2薄膜
X射线衍射
氧压
基体温度
激光损伤
thin film optics
ZrO2 thin film
X-ray diffraction
oxygen partial pressure
substrate temperature
laser damage
氧分压对电子束蒸发SiO2薄膜机械性质和光学性质的影响
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 742, 745
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
;
沈卫星
;
江敏华
收藏
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浏览/下载:701/105
  |  
提交时间:2009/09/22
SiO2薄膜
SiO_2 films
氧分压
Oxygen partial pressure
残余应力
Residual stress
表面形貌
Surface morphology
折射率
Refractive index
电子束蒸发
Electron beam evaporation
测量薄膜微粗糙度的总积分散射仪
期刊论文
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 1258, 1261
侯海虹
;
洪瑞金
;
张东平
;
易葵
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:850/88
  |  
提交时间:2009/09/22
测量
measurement
表面粗糙度
surface roughness
标量散射
scalar scattering
散射仪
scatterometer
退火对电子束热蒸发Al2O3薄膜性能影响的实验研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 511, 514
尚淑珍
;
廖春艳
;
易葵
;
张东平
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:432/64
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提交时间:2009/09/22
紫外
Ultraviolet
退火
Annealing
微结构
Microstructure
光学损耗
Optical loss
吸收
Absorption
光学表面的标量散射理论
期刊论文
激光与光电子学进展, 2005, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 35, 38,44
侯海虹
;
范正修
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:1237/277
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
表面散射
标量理论
均方根粗糙度
散射理论
标量
光学表面
表面粗糙度
Beckman
散射模型
不均匀性
散射特性
中心波长
optical films
surface scattering
scalar scattering theory
root mean square roughness
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