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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2001    学科主题：Optics     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel silicon micromachined gyroscope with high Q at atmosphere 期刊论文 MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY AND DEVICES, 2001, 卷号: 4601, 页码: 38-42 Xiong, B; Wang, YL; Che, LF; Wang, WY 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/24 MICROSTRUCTURES  BEAM