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共23条，第1-23条
沈阳自动化研究所 24 重庆大学 22 半导体研究所 17
大连理工大学 9 国家空间科学中心 4 山东大学 4
金属研究所 3 华南理工大学 3 武汉大学 3
力学研究所 2 厦门大学 2 北京航空航天大学 2
上海微系统与信息技术研究所 2 贵州大学 2 武汉理工大学 2
北京大学 1 西安交通大学 1 长春光学精密机械与物理研究所 1
上海大学 1 湖南大学 1 中国石油大学（北京） 1
广州能源研究所 1 兰州化学物理研究所 1

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