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半导体研究所 65 西安光学精密机械研究所 36 清华大学 28
上海微系统与信息技术研究所 25 过程工程研究所 10 北京大学 7
物理研究所 7 长春光学精密机械与物理研究所 6 湖南大学 5
厦门大学 4 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 4 高能物理研究所 4
合肥物质科学研究院 3 力学研究所 2 兰州理工大学 2
西安交通大学 2 金属研究所 2 上海光学精密机械研究所 2
上海硅酸盐研究所 2 兰州大学 1 深圳先进技术研究院 1
大连化学物理研究所 1 上海应用物理研究所 1 南开大学 1
上海大学 1 华中师范大学 1 武汉大学 1
生态环境研究中心 1 广州能源研究所 1

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