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共12条，第1-12条
半导体研究所 49 上海微系统与信息技术研究所 25 西安光学精密机械研究所 24
上海光学精密机械研究所 10 清华大学 9 厦门大学 3
北京大学 3 上海大学 3 长春应用化学研究所 3
物理研究所 1 大连理工大学 1 金属研究所 1

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