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半导体研究所 12 西安光学精密机械研究所 6 大连化学物理研究所 4
上海光学精密机械研究所 4 大连理工大学 3 北京大学 2
物理研究所 2 化学研究所 2 沈阳自动化研究所 2
力学研究所 1 西安交通大学 1 北京航空航天大学 1
上海微系统与信息技术研究所 1 青岛生物能源与过程研究所 1 山东大学 1

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