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山东大学 15 贵州大学 15 上海光学精密机械研究所 7
上海微系统与信息技术研究所 6 上海技术物理研究所 6 安徽大学 4
厦门大学 3 西安交通大学 2 大连理工大学 2
兰州大学 2 长春光学精密机械与物理研究所 2 光电技术研究所 2
半导体研究所 2 清华大学 1 深圳大学 1
合肥物质科学研究院 1

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