一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法

	一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法
	郝俊英; 郑建云
	2015-03-18
专利国别	中国
专利号	201110439964.2
专利类型	发明
权利人	中国科学院兰州化学物理研究所
中文摘要	本发明公开了一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法。该方法是利用氮等离子体轰击TiN/TiCN多层复合薄膜，经过处理的TiN/TiCN多层复合薄膜机械性能无明显变化，但整体薄膜的应力得到改善，且内部的TiN层的摩擦系数和磨损率均显著降低。
学科主题	材料科学与物理化学
公开日期	2013-06-26
申请日期	2011-12-23
语种	中文
专利申请号	CN103173731A
专利代理	方晓佳
内容类型	专利
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/7174]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
作者单位	中国科学院兰州化学物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郝俊英,郑建云. 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法. 201110439964.2. 2015-03-18.