| 氧化锌基紫外光电探测材料与器件研究 | |
| 申德振 ; 单崇新 ; 张吉英 ; 朱海 ; 赵东旭 ; 鞠振刚 ; 刘吉山 ; 刘可为 ; 王立昆 ; 张振中 ; 李炳辉 ; 王双鹏 ; 范希武 | |
| 2012-12-26 | |
| 获奖类别 | 吉林省科学技术进步奖 |
| 获奖等级 | 一等奖 |
| 关键词 | 氧化锌 紫外 光电探测器 响应度 |
| 学科主题 | 半导体光电子学；光电子材料学；半导体材料学 |
| 中文摘要 | 本项目属于信息领域半导体材料与器件方向。 针对如何提高紫外探测器性能的关键科学问题，本项目提出利用较高电场下绝缘层中的碰撞离化过程实现载流子倍增用于探测器增益的思想，获得了探测度达1.26*10^13cmHz1/2/W的氧化锌基紫外探测器，该探测度比现在常用于紫外探测的硅基探测器的相应值高一个量级以上。另外，提出利用金属-半导体界面的缺陷态捕获空穴的思想提高氧化锌基探测器的响应度，获得了响应度高达26000A/W的氧化锌基紫外探测器。再者，采用高温缓冲层技术实现了立方相氧镁锌单晶薄膜，并基于该薄膜制备了响应度达0.396A/W的日盲紫外探测器；并通过组分调控，实现了响应波长覆盖整个日盲波段的氧化锌基紫外探测器。 本项目在获得高质量氧化锌基材料的基础上，利用绝缘层中的碰撞离化过程以及金属-半导体界面的缺陷态捕获空穴的物理思想实现了高性能的氧化锌基紫外探测器。以上结果解决了氧化锌基材料在紫外探测器件应用面临的结晶质量不高、器件结构设计不成熟等难题，为制备高性能的氧化锌基紫外探测器提供了可行途径和实验基础，推动了宽禁带半导体基紫外光电探测器在未来国防和民用等领域的应用。 本项目执行过程中共发表相关SCI学术论文207篇，其中影响因子大于3.0的54篇，所发论文共被SCI他引2846次。申请国家发明专利21项，目前已授权12项。相关结果得到了同行的广泛关注和积极评价，探测灵敏度达1.26*10^13cmHz1/2/W的结果被同行在综述性论文中评价为“极好的结果”、“可能为实现高增益的紫外探测器提供了一个可行的途径”，以及“对可见盲紫外探测器的发展是极其重要的”。响应度达26000 A/W的结果被同行在学术论文中评论为“极高的响应度”。响应度达0.396A/W的日盲紫外探测器被同行在学术论文中评价为“氧镁锌基日盲探测器的最高响应度”。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42219]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申德振,单崇新,张吉英,等. 氧化锌基紫外光电探测材料与器件研究. 吉林省科学技术进步奖:一等奖. 2012. |
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