| 蓝宝石图形衬底的制备方法 | |
| 段瑞飞 ; 季安 ; 伊晓燕 ; 王莉 ; 樊中朝 ; 郭金霞 ; 潘岭峰 ; 黄亚军 ; 赵冀 ; 李镇 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 公开日期 | 2013-07-24 |
| 申请日期 | 2013-04-22 |
| 专利申请号 | CN201310141878.2 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25644]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段瑞飞,季安,伊晓燕,等. 蓝宝石图形衬底的制备方法. |
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