| 题名 | 基于MEMS技术的压电微喷的研制 |
| 作者 | 许立宁 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院电子学研究所 |
| 导师 | 崔大付 |
| 关键词 | 微喷 压电 剪式 阵列 |
| 学位专业 | 物理电子学 |
| 中文摘要 | 微喷是微流量控制系统中重要的执行器件，它可喷射多种介质（墨、聚合物、固体等），能够实现DNA微细排列、微量药品精确供给、微推进以及喷墨打印等多种功能，在医药、生物、化学领域有着广阔的应用前景，是MEMS技术最典型的应用之一。本论文建立了剪式微喷的结构理论模型，分析了在动态电压作用下端部的变形；利用有限元分析方法优化设计了微喷的结构几何参数，模拟其振动模态；研制出可双向快速充、放电的微喷专用驱动电源，能够并行驱动微喷阵列；对工作在纯剪切模式的微喷结构进行改进，引入了机械增益，大大提高了微喷的驱动能力。本论文完成了亚纳升级剪式压电微喷的研制以及性能测试，探索最佳结构、最佳工艺流程和最优工艺参数，提高稳定性和成品率。研究驱动方法，开发驱动电源，为国内压电微喷的实用化打下了坚实的基础。本论文研制的微喷，单次喷射体积在亚纳升量级，可连续喷射；喷射液滴体积和数量可由驱动脉冲控制；集成性能良好，可制成一维微喷阵列。提出了三种结构的微喷，电场方向是垂直于极化方向加载的。当驱动电压为50V时，单次喷射液滴体积约为0.1纳升，最大喷射距离为30mm。研制出微喷专用驱动电源，申请了专利。该电源具有以下特点：可以进行正丫反双方向充电，使致动壁能做正、反两个方向的运动；能够进行双向快速放电，频率响应范围宽；输出电压高，非线性失真小；输出阻抗很小，电流负载能力大，响应速度快；控制信号的频率和脉宽可调；各部件驱动信号之间的时序关系可通过计算机编程控制。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 91 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9109]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许立宁. 基于MEMS技术的压电微喷的研制[D]. 中国科学院电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2005. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论