| 题名 | 电容式微加速度计检测电路研究 |
| 作者 | 杨苗苗 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006-06-02 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 电子学研究所 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | 微电子机械系统 电容式加速度计 扭摆 梳齿 开关式检测电路 |
| 中文摘要 | 本论文主要的目的是设计检测10aF微弱电容的高精度加速度计检测电路。使微加速度计能在航天运载系统、弹道导弹以及各类武器系统、弹箭在发射、飞行环境中得到广泛应用，设计的微弱电容检测电路使微加速度计达到1mg的分辨率。又因为加速度计结构的不同，更需要设计不同类型的微电容检测电路来满足要求。 对微加速度计的分类和检测电路进行了综述，得出电容式微加速度计是研究的主流方向。接着又论述微电容式检测电路的研究现状，了解了目前研究的两种工作模式的检测电路。 分析了加速度计的工作原理，给出了加速度计的基本数学模型。具体分析了开环和闭环两种工作模式，从理论上分析了开环微机械加速度计的灵敏度和静电力作用下开环微机械加速度计的刚度比以及闭环微机械加速度计的工作模型 对两种不同结构的加速度传感器检测原理进行了分析，并提出了两种工作模式的几种常见的检测电路及其优缺点。最后对微加速度的输入噪声进行了理论分析。给出如何避免噪声的方法。 设计了两种不同结构加速度传感器的检测电路，并对两种结论进行比较，实验数据表明，两种电路分辨率高的优点，但相比之下得出开关式检测电路具有更高的稳定性高、漂移小和电路简单易于集成的优点。最后还设计了一种单电容反馈的闭环检测电路和实验数据表明，加力反馈电路可以有效地提高器件的灵敏度和输出的线性度。 建立微加速度计的主要性能指标测试系统，给出各类指标的实验数据。最后分析了测量中温度带来的误差和温度补偿的方法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 77 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/8319]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨苗苗. 电容式微加速度计检测电路研究[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2006. |
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