A Differential Resonant Barometric Pressure Sensor Using SOI-MEMS Technology | |
罗振宇,陈德勇,王军波,陈建 | |
2013 | |
会议名称 | IEEE Sensors 2013 |
会议日期 | 2013 |
会议地点 | 美国 |
内容类型 | 会议论文 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9982] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗振宇,陈德勇,王军波,陈建. A Differential Resonant Barometric Pressure Sensor Using SOI-MEMS Technology[C]. 见:IEEE Sensors 2013. 美国. 2013. |
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