步进电机驱动型位移促动器的控制检测方法及其装置(发明) | |
张振超 ; 杜希霞 ; 戚永军 ; 陈昆新 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 暂无 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
中文摘要 | 天文望远镜步进电机驱动型位移促动器的检测方法,步骤如下:将位移促动器固定在微位移实验室的减震测试平台上,并在该位移促动器上设置轴向力和侧向力的弹簧加力模拟负载和被测棱镜;由工控机输出脉冲数和方向指令,驱动位移促动器的步进电机;在恒温20.0℃下,空气洁净度为千分级以下,利用双频激光干涉仪对位移促动器上的被测棱镜进行采样,并记录数据;上述记录数据传给激光器读出系统及计算机,由计算机完成对位移促动器的性能测试的计算。本发明的方法及装置实现了纳米级的控制检测。检测结果表明位移促动器的分辨率≤2nm,具有良好的单向重复性,位移精度(包括执行元件和电控)RMS≤50nm,能满足控制工程中的要求。 |
学科主题 | 自动控制 |
公开日期 | 2007-09-05 |
申请日期 | 2007-03-16 |
专利申请号 | CN200710020625.4 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/216] |
专题 | 南京天文光学技术研究所_中科院南京天光所知识成果_专利 南京天文光学技术研究所_望远镜新技术研究室_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张振超,杜希霞,戚永军,等. 步进电机驱动型位移促动器的控制检测方法及其装置(发明). 暂无. |
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