硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征

	硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征
	薛群基
刊名	高等学校化学学报
	2005
卷号	26 期号:4 页码:599-602
关键词	微图案微接触印刷术 TiO2微结构 Micro-patterns Microcontact printing TiO2 microstructures
ISSN号	0251-0790
通讯作者	陈淼
中文摘要	结合微接触印刷术和TiO2 沉积成膜技术, 在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜, 并利用XPS, SEM 和AFM 对其表面性质和结构进行了表征. 该硅基图案化TiO2 微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	SCI ; CSCD
资助信息	国家自然科学基金(批准号: 20473106);国家“九七三”计划(批准号: 2003CB716200)资助
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2006820
公开日期	2014-03-03
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/5240]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	薛群基. 硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征[J]. 高等学校化学学报,2005,26(4):599-602.
APA	薛群基.(2005).硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征.高等学校化学学报,26(4),599-602.
MLA	薛群基."硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征".高等学校化学学报 26.4(2005):599-602.