采用直流磁控溅射技术在Si（100）晶片和304不锈钢上沉积了（BCSiAlCr）Nx薄膜。采用XRD、XPS、TEM和 SEM分别分析了薄膜的成分、晶体结构和形貌。利用电化学工作站测试了薄膜的耐腐蚀性能，包括动电位极化试验、 恒电位极化试验以及阻抗试验。结果表明，在 3.5% NaCl 溶液中 HE3 薄膜样品具有最低的腐蚀电流密度（Icorr） 0.031 1 μA/cm2 和最高的腐蚀电位-37.557 mV；在0.5 mol/L硫酸溶液耐腐蚀试验中，HE3薄膜样品同样具有最低的腐蚀 电流密度和最高的腐蚀电位，表现出最优异的耐腐蚀性能。随着薄膜中氮含量的增多，薄膜非晶程度增加，致密性提高， 表面缺陷及孔洞消失，耐腐蚀性能改善。研究结果证明，（BCSiAlCr）Nx薄膜在腐蚀防护方面具有潜在的应用前景。