变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真

	变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真
	张景文 2; 范斌 1; 李志炜 1; 汉语 1
刊名	激光技术
	2020
卷号	44 期号:1 页码:136-142
关键词	光学制造反应离子刻蚀变结构腔室流热场分布滑移区稀薄气体数值模拟
ISSN号	1001-3806
英文摘要	为了提高刻蚀的均匀性,对400mm反应离子刻蚀(RIE)腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型,研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时,依次改变入口流量和出口压强,分别分析了腔室内部基片晶圆附近的流速、压强、温度的分布;依次改变极板间距离(30mm~60mm)、进气口直径(300mm~620mm)、抽气口直径(50mm~250mm),分析了反应腔室内气流和温度分布。结果表明,压强分布呈现出边缘低中心高的特征,流速呈现边缘高且中心低的特征,且在小流量时压强的均匀性较好;压强分布的均匀性随腔室极板间距离增加而有所提高,且随腔室气体出口面积减小与进口面积增加也有所提高;基片晶圆上方附近处温度场大面均匀、稳定,几乎不受入口流量波动变化的影响,热稳定性良好。该研究对大口径RIE腔室结构设计改进及对大口径反应离子刻蚀工艺控制具有重要意义。
WOS研究方向	Engineering
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6652318
状态	已发表
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/75695]
专题	能源与动力工程学院
作者单位	1.中国科学院光电技术研究所, 成都, 四川 610209, 中国 2.中国科学院光电技术研究所;;电子科技大学光电科学与工程学院;;中国科学院大学;;兰州理工大学能源与动力工程学院, ;;;;;;, 成都;;成都;;;;兰州, ;;;;北京;; 610209;;610054;;100049;;730050
推荐引用方式 GB/T 7714	张景文,范斌,李志炜,等. 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真[J]. 激光技术,2020,44(1):136-142.
APA	张景文,范斌,李志炜,&汉语.(2020).变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真.激光技术,44(1),136-142.
MLA	张景文,et al."变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真".激光技术 44.1(2020):136-142.