一种激光三角位移传感器及其测量方法
杜劲松; 李兴强; 丛日刚; 白珈郡; 崔昊; 褚云凯
2021-03-12
著作权人中国科学院沈阳自动化研究所
国家中国
文献子类发明
产权排序1
英文摘要本发明涉及一种激光三角位移传感器及其测量方法,包括以下步骤:激光器发射激光束至反射镜,反射镜将激光束反射至物体表面;经物体表面反射的激光束通过透镜聚焦,使聚焦之后的激光束在位置传感器接收面形成光斑;PSD传感器进行光电转换,并通过信号处理模块转换成表示物体位置的信息。本发明主要针对空间尺寸狭小的孔类零件、平行平板或其他复杂机械结构的内尺寸测量。其外形尺寸小,具有良好的通用性、便携性,可实现微小尺寸的高精度、高效率测量。
申请日期2020-11-24
语种中文
状态公开
内容类型专利
源URL[http://ir.sia.cn/handle/173321/28526]  
专题沈阳自动化研究所_智能检测与装备研究室
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杜劲松,李兴强,丛日刚,等. 一种激光三角位移传感器及其测量方法. 2021-03-12.
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