| 一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源 | |
| 陈建军1; 尹韶云1; 江海波1; 谭军; 黄小祥; 朱凯; 顾海霞 | |
| 2021-02-23 | |
| 著作权人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 ; 张家港奇点光电科技有限公司 |
| 专利号 | 2020211941230 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源，包括曝光机机体，连接钢杆，调节板，第一调节螺栓，复眼透镜，可调节架结构，反射镜模块和可调节照射架结构，所述的连接钢杆分别螺栓安装在调节板外侧的四周，且螺栓安装在曝光机机体内壁的左下部。本实用新型的有益效果为：通过可调节照射架结构的设置，在进行曝光过程中，通过UVLED光源模块代替了传统汞灯光源，有利于功率大幅降低，很大程度上节省了能耗；同时拥有更长的试用寿命和更加环保，进而UVLED光源模块(86)相对于传统汞灯光源不存在红外线，避免了菲林胀缩；该UVLED光源相较于传统汞灯，也不存在汞灯炸灯风险和更加安全。 |
| 分类号 | G03f7/20(2006.01)i |
| 申请日期 | 2020-06-24 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 已授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/12428]  |
| 专题 | 集成光电技术研究中心 |
| 作者单位 | 1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2.张家港奇点光电科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈建军,尹韶云,江海波,等. 一种高光强大台面平行曝光机UVLED光源. 2020211941230. 2021-02-23. |
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