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	一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置; 一种真空镀膜装置
	郭武明; 王海新; 蒲吉斌; 王立平; 张学东; 郑文茹; 吴斌
	2019-09-20
申请日期	2019-01-16
内容类型	专利
源URL	[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/20990]
专题	宁波材料技术与工程研究所_专利成果
作者单位	中国科学院宁波材料技术与工程研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郭武明,王海新,蒲吉斌,等. 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置. 2019-09-20.

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