具有透明導電層之二維光子晶體面射型雷射 | |
盧廷昌; 洪國彬; 黃聖哲 | |
2019-09-01 | |
著作权人 | 國立交通大學 |
专利号 | TW201935787A |
国家 | 中国台湾 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 具有透明導電層之二維光子晶體面射型雷射 |
英文摘要 | 一種具有創新透明導電薄膜披覆層設計之二維光子晶體雷射。藉由蝕刻製程定義出二維週期性光子晶體區域,其由複數個週期性孔洞排列所組成,且各週期性孔洞具有設計適當之週期性孔洞佔空比,接續鍍上透明導電薄膜並覆蓋整個光子晶體區以形成電流擴散層。透過優化透明導電層的設置與製程條件,可提供透光性與電流均勻散佈之途徑,除得以簡化整體製程流程與降低製程難度,也能有效提升光學侷限特性進而獲最大增益於光程反饋並實現下世代光源低閾值、小發散角與高品質之雷射輸出。 |
公开日期 | 2019-09-01 |
申请日期 | 2018-02-13 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89931] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 國立交通大學 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 盧廷昌,洪國彬,黃聖哲. 具有透明導電層之二維光子晶體面射型雷射. TW201935787A. 2019-09-01. |
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