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	高对比度光栅耦合腔窄光谱线宽面发射激光器
	解意洋; 徐晨; 王秋华; 荀孟; 潘冠中; 董毅博; 安亚宁
	2016-10-26
著作权人	北京工业大学
专利号	CN106058642A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	高对比度光栅耦合腔窄光谱线宽面发射激光器
英文摘要	本发明公开了高对比度光栅耦合腔窄光谱线宽面发射激光器，属于光电子技术领域。将具有高反射率和反射带宽的高对比度光栅作为反射镜，通过微纳米加工工艺集成到基横模垂直腔面发射激光器顶部，通过高对比度光栅的高反射率对器件出射光进行反馈，对器件进行光注入，形成新型的耦合腔集成面发射激光器，实现器件的有效谐振腔的延长，进而压缩基横模垂直腔面发射激光器的光谱线宽，得到窄光谱线宽面发射激光器。低折射率支撑高对比度光栅结构的采用，简化上集成外腔制备难度，降低了器件加工工艺，且制备工艺为纯平面工艺，可有效提高器件的成品率及可靠性，具有光谱线宽调节范围大，压窄效果明显等优势，且设计制备简单。
公开日期	2016-10-26
申请日期	2016-06-29
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85905]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	北京工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	解意洋,徐晨,王秋华,等. 高对比度光栅耦合腔窄光谱线宽面发射激光器. CN106058642A. 2016-10-26.

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