准分子激光技术发展（邀请论文）

	准分子激光技术发展（邀请论文）
	余吟山 3; 游利兵 3; 梁勖 3; 方晓东 3
刊名	中国激光
	2010
卷号	000
关键词	激光器准分子激光技术放电激励光刻
ISSN号	0258-7025
其他题名	Progress of Excimer Lasers Technology（Invited Paper）
英文摘要	介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制技术和激光电源技术等。分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:4021012
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/93888]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	余吟山,游利兵,梁勖,等. 准分子激光技术发展（邀请论文）[J]. 中国激光,2010,000.
APA	余吟山,游利兵,梁勖,&方晓东.(2010).准分子激光技术发展（邀请论文）.中国激光,000.
MLA	余吟山,et al."准分子激光技术发展（邀请论文）".中国激光 000(2010).