| A T-Shape Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Resonant Accelerometer | |
| Jian Yang; Meng Zhang; Chaowei Si; Guowei Han; Jin Ning; Fuhua Yang; Xiaodong Wang | |
| 刊名 | Journal of Microelectromechanical Systems
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| 2019 | |
| 卷号 | 28期号:5页码:776-781 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29845]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Jian Yang;Meng Zhang;Chaowei Si;Guowei Han;Jin Ning;Fuhua Yang;Xiaodong Wang. A T-Shape Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Resonant Accelerometer[J]. Journal of Microelectromechanical Systems,2019,28(5):776-781. |
| APA | Jian Yang;Meng Zhang;Chaowei Si;Guowei Han;Jin Ning;Fuhua Yang;Xiaodong Wang.(2019).A T-Shape Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Resonant Accelerometer.Journal of Microelectromechanical Systems,28(5),776-781. |
| MLA | Jian Yang;Meng Zhang;Chaowei Si;Guowei Han;Jin Ning;Fuhua Yang;Xiaodong Wang."A T-Shape Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Resonant Accelerometer".Journal of Microelectromechanical Systems 28.5(2019):776-781. |
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