| 非晶碳薄膜载流子输运和压阻行为研究 | |
| 郭鹏; 马鑫; 陈仁德; 张琪; 赵玉龙; 柯培玲; 汪爱英 | |
| 2019-11-15 | |
| 页码 | 1 |
| 英文摘要 | 非晶碳(a-C)薄膜sp~2/sp~3比值、sp~2团簇大小等会显著影响薄膜的电子输运行为以及压阻特性,相关作用规律尚不明确。本研究采用磁控溅射技术,通过改变沉积过程中基体上施加的负偏压,制备了一系列sp~2/sp~3比值稳定、sp~2团簇大小不同的无氢非晶碳薄膜,并系统研究了其电学性能并探索了压阻特性。结果表明:当负偏压从0增加到300 V时,薄膜sp~2含量保持在52±1.5%,同时a-C中sp~2团簇尺寸在1.63～1.93 nm范围变化。在-50 V时,薄膜中sp~2团簇尺寸最大,同时薄膜电阻率最低0.32Ω·cm,这是由于sp~2团簇之间的平均跳跃距离减小所致。此外,对于-50 V和-100 V偏压下沉积的a-C薄膜,在100-350 K温度范围内,表现出变程跳跃传导(variable range hopping, VRH)导电行为。压阻测试表明a-C薄膜的压阻系数(GF)在1.4-12.1范围内,GF随薄膜sp~2含量和sp~2团簇尺寸变化。另外,集成了基于a-C的MEMS力传感器在0-1.16N范围内灵敏度为80.7μV/V/N,非线性度约1.3%,且可重复5000次试验循环。 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/17608]  |
| 专题 | 2019专题 |
| 作者单位 | 1.中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2.机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭鹏,马鑫,陈仁德,等. 非晶碳薄膜载流子输运和压阻行为研究[J],2019:1. |
| APA | 郭鹏.,马鑫.,陈仁德.,张琪.,赵玉龙.,...&汪爱英.(2019).非晶碳薄膜载流子输运和压阻行为研究.,1. |
| MLA | 郭鹏,et al."非晶碳薄膜载流子输运和压阻行为研究".(2019):1. |
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