| 准分子激光处理装置及其激光收集装置 | |
| 何伟铭 | |
| 2019-05-31 | |
| 著作权人 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 专利号 | WO2019100422A1 |
| 国家 | 世界知识产权组织 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 准分子激光处理装置及其激光收集装置 |
| 英文摘要 | 公开了一种准分子激光处理装置及其激光收集装置。激光收集装置包括设于激光器（L）出射光路上远离激光器的第一反射镜（1）、设于激光器出射光路上靠近激光器的第二反射镜（2）以及设于激光器出射光路外的第一反射镜组（3）；第一反射镜接收激光器发出的光线并反射至第一反射镜组，经第一反射镜组反射的光线射出至第二反射镜，第二反射镜朝向背离激光器的方向倾斜，将从第一反射镜组射入的光线反射至待激光处理的对象（P）表面。通过设置对未射到待激光处理的对象表面的激光进行收集的激光收集装置，将未被利用的光线进行收集并再投射到待激光处理的对象表面进行二次利用，提高了激光的光线利用率，降低了生产成本。 |
| 公开日期 | 2019-05-31 |
| 申请日期 | 2017-11-29 |
| 状态 | 未确认 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62334]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何伟铭. 准分子激光处理装置及其激光收集装置. WO2019100422A1. 2019-05-31. |
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