| 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法 | |
| 王琦; 吴跃进; 刘斌美; 余立祥; 倪晓宇; 杨阳; 杨叶 | |
| 2019-06-14 | |
| 著作权人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 专利号 | CN109884032A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，系统包括：脉冲激光器发出的光束照射到光束转折器的反射面上；半导体激光器发出的光束照射到二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于光束转折器的反射面；光束转折器将脉冲激光器发出的光束反射到二向色镜的第二受光面上；二向色镜将光束照射在移动平台上的待测样品表面；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。应用本发明实施例，可以提高检测结果的准确性。 |
| 公开日期 | 2019-06-14 |
| 申请日期 | 2019-02-19 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55304]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王琦,吴跃进,刘斌美,等. 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法. CN109884032A. 2019-06-14. |
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