| 一种大孔径高光束质量微型激光器 | |
| 张祥伟; 马群; 陈玉娇; 陶禹 | |
| 2019-04-02 | |
| 著作权人 | 西安工业大学 |
| 专利号 | CN109560460A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种大孔径高光束质量微型激光器 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜和N面电极，所述P面电极、电流引导层和P面分布布拉格反射镜的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起，凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起横向尺寸直径为0.5~2μm。本发明激光器的种子源是通过工艺在芯片上直接制作而成的，因此保持了垂直腔面发射激光器体积紧凑的特点，本发明的激光器结构简单、设计合理，投入成本较低，加工制作方便，且体积微小，可以高度集成在激光设备中。 |
| 公开日期 | 2019-04-02 |
| 申请日期 | 2018-11-29 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55119]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 西安工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张祥伟,马群,陈玉娇,等. 一种大孔径高光束质量微型激光器. CN109560460A. 2019-04-02. |
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