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	Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser
	HOLDER, CASEY O.; FEEZELL, DANIEL F.; DENBAARS, STEVEN P.; SPECK, JAMES S.; NAKAMURA, SHUJI
	2017-05-02
著作权人	THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
专利号	US9640947
国家	美国
文献子类	授权发明
其他题名	Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser
英文摘要	A III-Nitride based Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL), wherein a cavity length of the VCSEL is controlled by etching.
公开日期	2017-05-02
申请日期	2015-08-06
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49727]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
推荐引用方式 GB/T 7714	HOLDER, CASEY O.,FEEZELL, DANIEL F.,DENBAARS, STEVEN P.,et al. Structure and method for the fabrication of a gallium nitride vertical cavity surface emitting laser. US9640947. 2017-05-02.

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