单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 | |
朱刚毅; 王永进 | |
2019-01-08 | |
著作权人 | 南京邮电大学 |
专利号 | CN106785899B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。 |
公开日期 | 2019-01-08 |
申请日期 | 2016-12-19 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49347] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南京邮电大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,王永进. 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785899B. 2019-01-08. |
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