量子级联激光器相干阵列结构、激光器及其制造方法
张锦川; 刘峰奇; 梁平; 胡颖; 王利军; 刘俊岐; 王占国
2018-05-25
著作权人中国科学院半导体研究所
专利号CN105244761B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名量子级联激光器相干阵列结构、激光器及其制造方法
英文摘要一种量子级联激光器相干阵列结构,包括:一衬底;一下波导层;一有源层,该有源层在横向被分成若干个不等宽度的微米条阵列,中间的微米条最宽,向两侧微米条宽度依次递减;一半绝缘InP:Fe层,该半绝缘InP:Fe层位于有源层的两侧且等宽度用来隔离微米条阵列;一上波导层。以及一种采用该相干阵列结构的量子级联激光器及其制造方法。本发明通过啁啾的有源脊宽度设计调整了微米条阵列间的增益分配,使基超模具有最低的波导损耗从而优先激射,从而改善了光束质量,同时利用半绝缘InP作为有源层的分隔区和光场的耦合区,不但实现了阵列的相干激射而且显著降低了有源区的工作温度,从而有利于提高器件的输出功率。
公开日期2018-05-25
申请日期2015-10-27
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49294]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张锦川,刘峰奇,梁平,等. 量子级联激光器相干阵列结构、激光器及其制造方法. CN105244761B. 2018-05-25.
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