基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法 | |
房建成; 张宁; 张晨; 袁珩 | |
2016-08-17 | |
著作权人 | 北京航空航天大学 |
专利号 | CN103743390B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法 |
英文摘要 | 本发明提供的一种基于NV‑色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法,包括信号调理电路板、雪崩光电二极管(APD)、垂直腔面发射激光器(VCSEL)、制作于绝缘衬底上的硅材料(SOI)上的NV‑色心金刚石—MEMS混合结构和滤波片;结合了NV‑色心金刚石自旋陀螺仪和MEMS陀螺仪的优点,克服了NV‑色心金刚石陀螺仪和MEMS陀螺仪的不同误差源影响,具有更高的理论灵敏度和更好的稳定性,具有体积小、成本低、灵敏度高、操作条件简易等优势,对研制新一代基于固体原子自旋效应和MEMS效应的混合陀螺仪有着重要的价值,将服务于未来各个领域特别是低成本的惯性导航和测姿系统。 |
公开日期 | 2016-08-17 |
申请日期 | 2013-12-31 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44859] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 北京航空航天大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 房建成,张宁,张晨,等. 基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法. CN103743390B. 2016-08-17. |
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