| 多晶硅薄膜和金属铝接触的研究 | |
| 马平西; 魏希文; 王美田; 师延进; 陈国栋 | |
| 刊名 | 大连理工大学学报
 |
| 1989 | |
| 卷号 | 29页码:197 |
| 关键词 | 多晶硅 薄膜 铝 欧姆接触 |
| ISSN号 | 1000-8608 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6534090 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学, 大连, 辽宁 中国 2.东北微电子所, 大连, 辽宁 中国 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马平西,魏希文,王美田,等. 多晶硅薄膜和金属铝接触的研究[J]. 大连理工大学学报,1989,29:197. |
| APA | 马平西,魏希文,王美田,师延进,&陈国栋.(1989).多晶硅薄膜和金属铝接触的研究.大连理工大学学报,29,197. |
| MLA | 马平西,et al."多晶硅薄膜和金属铝接触的研究".大连理工大学学报 29(1989):197. |
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