Study of a micro electromagnetic PDMS membrane actuator

	Study of a micro electromagnetic PDMS membrane actuator
	Bai L. ; Zhang P. ; Wu Y. H. ; Wang S. R.
	2003
会议日期	2003
页码	129-132
收录类别	CPCI-S
会议录	Istm/2003: 5th International Symposium on Test and Measurement, Vols 1-6, Conference Proceedings
会议录出版者	International Academic Publishers Ltd
会议录出版地	Hong Kong
语种	英语
ISBN号	7-5062-5780-7
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/35562]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Bai L.,Zhang P.,Wu Y. H.,et al. Study of a micro electromagnetic PDMS membrane actuator[C]. 见:. 2003.