| 高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状 | |
| 艾猛; 李刘合; 韩明月; 苗虎 | |
| 刊名 | 表面技术
 |
| 2018 | |
| 卷号 | 47页码:176-186 |
| 关键词 | 高功率脉冲磁控溅射 放电特性 靶电流 自溅射 气体循环 二次电子 气体稀薄效应 焦耳加热效应 |
| ISSN号 | 1001-3660 |
| DOI | 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.09.023 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | CSCD |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5928183 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾猛,李刘合,韩明月,等. 高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状[J]. 表面技术,2018,47:176-186. |
| APA | 艾猛,李刘合,韩明月,&苗虎.(2018).高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状.表面技术,47,176-186. |
| MLA | 艾猛,et al."高功率脉冲磁控溅射等离子体放电特性研究现状".表面技术 47(2018):176-186. |
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