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	Design and Fabrication of Silicon Nitride Waveguide Ring Resonator Used for Resonator Integrated Optic Gyro
	Feng, L.; Wang, Q.; Yang, J.
	2018
会议名称	MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII
会议日期	2018-01-01
关键词	Resonator integrated optic gyro Waveguide ring resonator Silicon nitride waveguide Processing error
页码	80-88
收录类别	CPCI-S
URL标识	查看原文
WOS记录号	WOS:000472772700010
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5923741
专题	北京航空航天大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Feng, L.,Wang, Q.,Yang, J.. Design and Fabrication of Silicon Nitride Waveguide Ring Resonator Used for Resonator Integrated Optic Gyro[C]. 见:MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII. 2018-01-01.

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