| A Study on Equivalent Circuit Model of RF Discharge Based on Multi-Physics Field | |
| Fu, Xinkai; Dai, Fei; Hu, Ruitao | |
| 2019 | |
| 会议名称 | APPLIED COMPUTATIONAL ELECTROMAGNETICS SOCIETY JOURNAL |
| 会议日期 | 2019-06-01 |
| 关键词 | Equivalent circuit model multi-physics simulation RF discharge |
| 卷号 | 34 |
| 页码 | 956-961 |
| 收录类别 | CPCI-S |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS:000476625700020 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5914287 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Fu, Xinkai,Dai, Fei,Hu, Ruitao. A Study on Equivalent Circuit Model of RF Discharge Based on Multi-Physics Field[C]. 见:APPLIED COMPUTATIONAL ELECTROMAGNETICS SOCIETY JOURNAL. 2019-06-01. |
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