一种高精度真空高温测量装置

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	一种高精度真空高温测量装置
	李燕; 朱香平; 张文松
	2019-08-27
著作权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号	CN201822197549.0
国家	中国
文献子类	实用新型
产权排序	1
英文摘要	本实用新型提供一种高精度真空高温测量装置，能够解决现有的在真空高温条件下测量结构件微量形变的装置存在测量精度低、监测过程复杂以及真空高温适应性不理想的技术问题。该高精度真空高温测量装置包括稳定支撑平台，用于固定放置被测物；两组光纤探头，其中一组光纤探头用于发射光信号，另一组光纤探头用于接收光信号，分别放置于X方向(测量目标为X方向上的形变量)上被测物的两端，并与被测物两端保持间距，满足光纤位移测量原理；光源与解调仪，将测量用激光发送至所述一组光纤探头，接收来自另一组光纤探头的光信号，并将接收到的光信号解调为数据输出；带光纤贯通器的法兰，用于耦合真空室内、外的光纤部分。
公开日期	2019-08-27
申请日期	2019-08-27
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31972]
专题	西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李燕,朱香平,张文松. 一种高精度真空高温测量装置. CN201822197549.0. 2019-08-27.