| 题名 | 硅片传输机器人的动力学特性与结构优化研究 |
| 作者 | 王铁军 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 丛明 |
| 关键词 | 工业机器人 动力学特性 结构优化 集成电路 硅片传输设备 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5288302 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王铁军. 硅片传输机器人的动力学特性与结构优化研究[D]. 大连理工大学. 2009. |
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