| Study of Discharge Properties of High Power Pulsed Unbalanced Magnetron Sputtering | |
| Mou ZX(牟宗信) | |
| 2010 | |
| 会议名称 | 15th Asian Conference on Electrical Discharge |
| 会议录 | 15th Asian Conference on Electrical Discharge
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5279470 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Mou ZX. Study of Discharge Properties of High Power Pulsed Unbalanced Magnetron Sputtering[C]. 见:15th Asian Conference on Electrical Discharge. |
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