子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究

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	子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究
	王孝坤 ; 郑立功 ; 张学军 ; 张学军
刊名	光学学报
	2010-07-20
卷号	30 期号:7 页码:2022-2026
ISSN号	0253-2239
中文摘要	在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。
收录类别	EI
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23599]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王孝坤,郑立功,张学军,等. 子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究[J]. 光学学报,2010,30(7):2022-2026.
APA	王孝坤,郑立功,张学军,&张学军.(2010).子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究.光学学报,30(7),2022-2026.
MLA	王孝坤,et al."子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究".光学学报 30.7(2010):2022-2026.