| 题名 | Mg掺杂GaN薄膜退火性质及GaN薄膜湿法刻蚀的研究 |
| 作者 | 郭浩 |
| 答辩日期 | 2012 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 杜国同 |
| 关键词 | Mg掺杂GaN 金属有机化学气相沉积 快速热退火 湿法刻蚀 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4818487 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭浩. Mg掺杂GaN薄膜退火性质及GaN薄膜湿法刻蚀的研究[D]. 大连理工大学. 2012. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论