CORC  > 大连理工大学
Cu薄膜三维生长的Monte Carlo模拟
朱祎国; 毛文
刊名真空科学与技术学报
2012
卷号32页码:328-331
关键词粗糙度 Monte Carlo模型 薄膜生长 形貌
ISSN号1672-7126
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4664129
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室大连理工大学工程力学系,大连,116023
推荐引用方式
GB/T 7714
朱祎国,毛文. Cu薄膜三维生长的Monte Carlo模拟[J]. 真空科学与技术学报,2012,32:328-331.
APA 朱祎国,&毛文.(2012).Cu薄膜三维生长的Monte Carlo模拟.真空科学与技术学报,32,328-331.
MLA 朱祎国,et al."Cu薄膜三维生长的Monte Carlo模拟".真空科学与技术学报 32(2012):328-331.
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