CORC  > 西安交通大学
The mechanical properties and resistivity of Au/NiCr/Ta multi-layered films on Si-(111) substrate
Tang, Wu; Xu, Kewei; Lu, Jian
2011
关键词Au/NiCr/Ta films Residual stress Resistivity Hardness
卷号520
期号[db:dc_citation_issue]
DOI[db:dc_identifier_doi]
页码824-827
会议录THIN SOLID FILMS
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ISSN号0040-6090
WOS记录号[DB:DC_IDENTIFIER_WOSID]
内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4498711
专题西安交通大学
推荐引用方式
GB/T 7714
Tang, Wu,Xu, Kewei,Lu, Jian. The mechanical properties and resistivity of Au/NiCr/Ta multi-layered films on Si-(111) substrate[C]. 见:.
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